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金刚石涂层的纳米压痕力学性能研究

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-05-08  浏览次数:3
摘 要:用HFCVD法在硬质合金刀具上制备了CVD金刚石涂层,利用纳米压痕仪研究了CVD金刚石涂层的硬度和弹性模量等力学性能。结果表明,反应室气压、衬底温度、反应气体中CH4含量、沉积时间等参数改变了CVD金
  • 【题 名】金刚石涂层的纳米压痕力学性能研究
  • 【作 者】卢文壮 左敦稳 任卫涛 杨春 徐锋 王珉
  • 【机 构】南京航空航天大学机电学院 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
  • 【刊 名】《人工晶体学报》 2009年第1期,-页
  • 【关键词】CVD金刚石 涂层 纳米硬度 弹性模量
  • 【文 摘】用HFCVD法在硬质合金刀具上制备了CVD金刚石涂层,利用纳米压痕仪研究了CVD金刚石涂层的硬度和弹性模量等力学性能。结果表明,反应室气压、衬底温度、反应气体中CH4含量、沉积时间等参数改变了CVD金刚石膜中sp2成分含量、晶界数量及晶界上缺陷,从而影响CVD金刚石涂层的纳米硬度和弹性模量。较高或较低的衬底温度都会导致硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量降低;随着反应室气压、反应气体中CH4含量的增加,硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量降低;沉积时间低于6 h时,沉积时间对硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量影响显著,沉积时间超过6 h后,沉积时间对硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量逐渐趋向稳定。
 
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