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Micrograting Displacement Sensor with Integrated Electrostatic Actuation

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-27  浏览次数:4
  • 【题 名】Micrograting Displacement Sensor with Integrated Electrostatic Actuation
  • 【作 者】姚保寅 冯丽爽 王潇 刘惟芳 刘美华
  • 【机 构】Key Laboratory of Micro-nano Measurement-Manipulation and Physics (Ministry of Education) Beihang University Beijing 100191 Fundamental of Science on Novel Inertial Instrument & Navigation System Technology Laboratory Beihang University Beijing 100191
  • 【刊 名】《中国物理快报:英文版》2014年 第7期 214-217页 共4页
  • 【关键词】光栅位移传感器 静电驱动 致动 集成 位移灵敏度 高分辨率 衍射光栅 光栅干涉仪
  • 【文 摘】
 
本文导航:
  • (1) 光栅位移传感器,静电驱动,致动,集成,位移灵敏度,高分辨率,衍射光栅,光栅干涉仪
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