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Effect of process parameters on electrical, optical properties of IZO films produced by inclination

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-05-08  浏览次数:1
摘 要:Effect of process parameters on electrical, optical properties of IZO films produced by inclination
  • 【题 名】Effect of process parameters on electrical, optical properties of IZO films produced by inclination opposite target type DC magnetron sputtering
  • 【作 者】Do-Hoon SHIN Yun-Hae KIM Joong-Won HAN Kyung-Man MOON Ri-Ichi MURAKAMI
  • 【机 构】Korean Air Aerospace Division Korean Air Lines Co. Daejeo 2-dong Gangseo-gu Busan 618-142 Korea Department of Mechanical and Material Engineering Korea Maritime University Dongsam-dong Youngdo-ku Busan Korea Department of Mechanical Engineering The University of Tokushima 2-1 Minami-josanjima-cho Tokushima 770-8506 Japan
  • 【刊 名】《中国有色金属学会会刊:英文版》2009年 第4期 997-1000页 共4页
  • 【关键词】溅射薄膜 工艺参数 光学性能 磁控 直流 类型 薄膜厚度 电力
  • 【文 摘】Effect of process parameters on electrical, optical properties of IZO films produced by inclination opposite target type DC magnetron sputtering
 
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