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Microstructure and optical properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen flow rates

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-05-08  浏览次数:2
摘 要:Microstructure and optical properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen flow rates
  • 【题 名】Microstructure and optical properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen flow rates
  • 【作 者】赵保星 周继承 荣林艳
  • 【机 构】School of Energy Science and Engineering Central South University Changsha China
  • 【刊 名】《中国有色金属学报:英文版》2010年 第8期 1429-1433页 共5页
  • 【关键词】TiO2薄膜 薄膜沉积 微观结构 光学性质 氧流量 二氧化钛薄膜 反应磁控溅射 原子力显微镜
  • 【文 摘】Microstructure and optical properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen flow rates
 
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  • (1) TiO2薄膜,薄膜沉积,微观结构,光学性质,氧流量,二氧化钛薄膜,反应磁控溅射,原子力显微镜
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