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DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-26  浏览次数:9
摘 要:在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下,对多晶硅铸锭炉进行了研究调查,通过对多晶硅铸锭炉结构进行改进,对热场等关键部位进行了重新的开发设计,提高了单炉单次的生产量,满足生产要求。
  • 【题 名】DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计
  • 【作 者】赵雪峰
  • 【机 构】中国电子科技集团公司第二研究所 山西太原030024
  • 【刊 名】《电子工业专用设备》2013年 第6期 17-20页 共4页
  • 【关键词】多晶硅铸锭炉 加热器 热场改进
  • 【文 摘】在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下,对多晶硅铸锭炉进行了研究调查,通过对多晶硅铸锭炉结构进行改进,对热场等关键部位进行了重新的开发设计,提高了单炉单次的生产量,满足生产要求。
 
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