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金刚石对顶砧中触点位置误差对样品电阻率测量精度的影响

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-26  浏览次数:9
摘 要:利用有限元分析方法,研究了金刚石对顶砧中电极与样品接触点位置变化对范德堡法测量样品电阻率精度的影响.结果表明:当电极中心与样品边缘的间距b≤d/9(d为样品直径)时能得到精确的电阻率测量结果;当电极位
  • 【题 名】金刚石对顶砧中触点位置误差对样品电阻率测量精度的影响
  • 【作 者】吴宝嘉 韩永昊 彭刚 金逢锡 顾广瑞 高春晓
  • 【机 构】延边大学理学院 延吉133002 吉林大学超硬材料国家重点实验室 长春130012
  • 【刊 名】《物理学报》2011年 第12期 484-488页 共5页
  • 【关键词】电阻率 有限元方法 金刚石对顶砧
  • 【文 摘】利用有限元分析方法,研究了金刚石对顶砧中电极与样品接触点位置变化对范德堡法测量样品电阻率精度的影响.结果表明:当电极中心与样品边缘的间距b≤d/9(d为样品直径)时能得到精确的电阻率测量结果;当电极位置远离样品边缘而逐渐接近样品中心时,其位置变化对电阻率测量精度的影响迅速增大;相同的电极位置变化对具有较大电阻率的半导体样品电阻率测量精度的影响更明显.
 
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