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衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-26  浏览次数:9
摘 要:采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐
  • 【题 名】衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响
  • 【作 者】邵士运 陈俊芳 赵益冉 冯军勤 高鹏
  • 【机 构】华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室 广东广州510006 华南师范大学实验中心 广东广州510006
  • 【刊 名】《华南师范大学学报:自然科学版》2012年 第4期 66-69页 共4页
  • 【关键词】氮化锌薄膜 直流磁控溅射 表面形貌 光学带隙
  • 【文 摘】采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.
 
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  • (1) 氮化锌薄膜,直流磁控溅射,表面形貌,光学带隙
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