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叠层模板电沉积中沉积均匀性的实验研究

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-26  浏览次数:8
摘 要:为了改善叠层模板电沉积技术(LTE)中沉积层的均匀性,以减少辅助工序的工作量,采用直流电流、正脉冲电流和换向脉冲电流3组电流配置进行对比实验,对电流参数包括换向脉冲的脉宽、频率,工作时间、关断时间以及
  • 【题 名】叠层模板电沉积中沉积均匀性的实验研究
  • 【作 者】范晖 田宗军 黄因慧 刘志东
  • 【机 构】南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室 江苏南京210016 南京航空航天大学机电学院 江苏南京210016
  • 【刊 名】《华南理工大学学报:自然科学版》2009年 第9期 117-122页 共6页
  • 【关键词】叠层模板 电沉积 换向脉冲电流 均匀性
  • 【文 摘】为了改善叠层模板电沉积技术(LTE)中沉积层的均匀性,以减少辅助工序的工作量,采用直流电流、正脉冲电流和换向脉冲电流3组电流配置进行对比实验,对电流参数包括换向脉冲的脉宽、频率,工作时间、关断时间以及电流密度作了调整和优化.通过对宏观厚度和微观形貌的测量,发现:换向电流配置条件下,模板沉积层具有较好的均匀性,换向脉冲电流的应用可以有效减少LTE工艺的加工难度和加工时间.文中还就换向电流对沉积层整平修饰的作用机理进行了理论分析,并采用优化的换向电流参数制备出了一批截面为20mm×20mm、厚度为4mm的铜质金属实体,证明了该技术的可行性.
 
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  • (1) 叠层模板,电沉积,换向脉冲电流,均匀性
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