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用于电子制造的机器人

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-26  浏览次数:12
摘 要:许多电子制造业如硬盘、平板显示器、太阳能产业、纳米技术、微机电系统(MEMS)和制药工业要求在无尘环境中进行生产,本书论述在电子制造中工业洁净室的机器人的设计及应用,书中介绍了工业洁净室机器人的原理和
  • 【题 名】用于电子制造的机器人
  • 【作 者】K.Mathia(著)
  • 【机 构】不详
  • 【刊 名】《国外科技新书评介》2011年 第1期 20-21页 共2页
  • 【关键词】电子制造业 机器人 工业洁净室 真空压力 大气压力 平板显示器 太阳能产业 微机电系统
  • 【文 摘】许多电子制造业如硬盘、平板显示器、太阳能产业、纳米技术、微机电系统(MEMS)和制药工业要求在无尘环境中进行生产,本书论述在电子制造中工业洁净室的机器人的设计及应用,书中介绍了工业洁净室机器人的原理和应用,特别是在半导体制造中最苛求的清洁度要求,根据清洁度的要求,洁净室的机器人可分为两类:在环境大气压力下高质量清洁度的“大气机器人”和在各种真空压力下外壳中极端清洁的“真空机器人”。
 
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  • (1) 电子制造业,机器人,工业洁净室,真空压力,大气压力,平板显示器,太阳能产业,微机电系统
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