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梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-24  浏览次数:4
摘 要:考虑膜中应变随位置的变化,应用Pertsev热力学理论,研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度,介电常数随沉积温度的降低而
  • 【题 名】梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响
  • 【作 者】陈庆东 胡晓亮 李立本
  • 【机 构】河南科技大学理学院 河南洛阳471003
  • 【刊 名】《河南科技大学学报:自然科学版》2009年 第6期 94-96页 共3页
  • 【关键词】BaTiO3薄膜 梯度应变 热力学理论 介电常数
  • 【文 摘】考虑膜中应变随位置的变化,应用Pertsev热力学理论,研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度,介电常数随沉积温度的降低而增大,计算结果与实验数据较好地吻合。
 
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  • (1) BaTiO3薄膜,梯度应变,热力学理论,介电常数
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