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金刚石聚晶薄膜制备及其电子场的发射性能

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-24  浏览次数:2
摘 要:微波等离子体化学气相沉积是制备微/纳米结构的方法之一,使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜。利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌,单元尺寸一致,分布均匀。使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄
  • 【题 名】金刚石聚晶薄膜制备及其电子场的发射性能
  • 【作 者】程春晓 高金海 张永胜
  • 【机 构】洛阳理工学院数理系 河南洛阳471023 郑州师范高等专科学校物理系 河南郑州450044
  • 【刊 名】《河南科技大学学报:自然科学版》2010年 第1期 88-90页 共3页
  • 【关键词】化学气相沉积 金刚石聚晶薄膜 场发射 陶瓷衬底
  • 【文 摘】微波等离子体化学气相沉积是制备微/纳米结构的方法之一,使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜。利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌,单元尺寸一致,分布均匀。使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄膜的结构,测试了薄膜材料的电子场发射性能。数据表明:制备的薄膜材料开启电场为1.25V/μm,在2.55V/μm的电场下,其电子场发射电流密度达到6.3mA/cm^2.
 
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  • (1) 化学气相沉积,金刚石聚晶薄膜,场发射,陶瓷衬底
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