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退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响

放大字体  缩小字体 更新日期:2018-11-24  浏览次数:5
摘 要:在不同的退火气氛下,采用金属有机物分解法在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了SrTiO3薄膜材料,并对其结构和电学性能进行了研究。X射线衍射结果显示SrTiO3薄膜都呈现多晶立方钙钛矿结
  • 【题 名】退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响
  • 【作 者】王晓飞 胡秋波
  • 【机 构】河南科技大学物理与工程学院 河南洛阳471003 洛阳理工学院数理部 河南洛阳471023
  • 【刊 名】《河南科技大学学报:自然科学版》2011年 第4期 5-7页 共3页
  • 【关键词】SrTiO3 漏电流 介电常数 介电损耗
  • 【文 摘】在不同的退火气氛下,采用金属有机物分解法在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了SrTiO3薄膜材料,并对其结构和电学性能进行了研究。X射线衍射结果显示SrTiO3薄膜都呈现多晶立方钙钛矿结构。对比不同气氛下制备出的SrTiO3样品电学测量结果,发现在氧气氛中退火后,样品具有较低的漏电流和较好的介电性能,这可能是由于氧气氛中退火减少了SrTiO3薄膜内氧空位的浓度引起的。
 
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  • (1) SrTiO3,漏电流,介电常数,介电损耗
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