当前位置: 首页 » 资料 » 健康论文 » 离子注入掺杂锐钛矿Tio2薄膜的光学性能

离子注入掺杂锐钛矿Tio2薄膜的光学性能

放大字体  缩小字体 更新日期:2016-02-07  浏览次数:0
摘 要:在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×10^16,1×10^17和5×10^17/cm^2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜。X射线衍射
  • 【题 名】离子注入掺杂锐钛矿Tio2薄膜的光学性能
  • 【作 者】常丹 陈猛 向霞 居勇峰 祖小涛
  • 【机 构】电子科技大学应用物理系,成都610054
  • 【刊 名】《强激光与粒子束》 2009年第21卷第5期,775-778页
  • 【关键词】TiO2薄膜 锐钛矿 氮掺杂 离子注入 吸收光谱 射频磁控溅射
  • 【文 摘】在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×10^16,1×10^17和5×10^17/cm^2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜。X射线衍射结果表明:制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型。X射线光电子能谱研究结果表明:注入的N离子与TiO2晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN2-x化合物,从而改变了TiO2薄膜的吸收边;随N离子注量增加,吸收边移动更明显;同时.由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强。
 
本文导航:
  • (1) TiO2薄膜,锐钛矿,氮掺杂,离子注入,吸收光谱,射频磁控溅射
  • 下一篇:鳖甲
  • 上一篇:暂无
 
[ 资料搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]

 

 
推荐图文
推荐资料
热门关注